在半導體制程行業中，芯片的生產要經過幾百道工序，會使用到大量的特種氣體。而特種氣體大多易燃易爆、劇毒、腐蝕性的氣體，為了安全輸送和使用這些危險性氣體，半導體廠中會安裝電子特氣系統，配置電子特氣柜GC、氣體分配箱VMB和特氣泄漏監測報警器等特種設備。

電子特氣柜

因特種氣體的特殊性，承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體，同時為保證半導體制程工藝中特種氣體的穩定供氣和安全，應具備多種功能，如柜內氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動吹掃等，提高使用安全系數，有效的保護生產安全和人員的生命安全。其次，半導體行業配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認證。

SEMI S2的對象是針對半導體制程設備的，是關于環境、健康、安全方面的標準，也即為EHS標準，因為半導體行業涉及到很多特種氣體、化學品及電氣、游離及非游離的輻射，如果處理不好，下游用戶在使用的時候就很容易導致事故甚至災難，因此對設備廠商的設備產品如電子特氣柜，擁有SEMI S2認證就顯得極端重要。

SENI S2認證書

由以上描述可知，在半導體制程工藝中，需要“安全”和“穩定”的使用特種氣體，普通的氣瓶柜無論是在材質上還是功能上都無法滿足要求，所以半導體行業應配置有SEMI S2認證的電子特氣柜。最后，感謝您的閱讀！